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CD-SEMによるArFレジストのStatic/DynamicCD値を解析し、測定再現性や計測値の妥当性を検証する
GUIから Static/Dynamic繰り返し測定した CD値を読み込み Y= a + b*X + c*( exp( d/c*x ) -1 ) の式にFittingし解析するツールです。簡単なグラフ表示機能も用意しました。詳細は、ArF-Program.pdf、ReadMe1st.txt を御覧ください。...
Delphi用 ファイル検索コンポーネント(Delphi5で作成)
■概要指定した条件でファイルを検索し、ファイルパスのリストを取得するためのDelphi 用のコンポーネントです(Delphi5で作成)。 ファイル検索を行うとき、たいていの方は FindFile を使うと思うのですが、毎度毎度 同じようなコードを書いている事に気づき、コンポーネント化しました。 サンプルコード付...
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