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『ひとりで学べるタイ語レッスン』書籍付属CD(2枚組)と同内容です。
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CD-SEMによるArFレジストのStatic/DynamicCD値を解析し、測定再現性や計測値の妥当性を検証するGUIから Static/Dynamic繰り返し測定した CD値を読み込み Y= a + b*X + c*( exp( d/c*x ) -1 ) の式にFittingし解析するツールです。簡単なグラフ表示機能も用意しました。詳細は、ArF-Program.pdf、ReadMe1st.txt を御覧ください。...
2013-02-11 フリーソフト /Windows/ユーティリティ/その他
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