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コピーできないstaticテキストなどをクリップボードにコピー。 また、その内容を自動で選択したファイルに落せます。...
CD-SEMによるArFレジストのStatic/DynamicCD値を解析し、測定再現性や計測値の妥当性を検証する
GUIから Static/Dynamic繰り返し測定した CD値を読み込み Y= a + b*X + c*( exp( d/c*x ) -1 ) の式にFittingし解析するツールです。簡単なグラフ表示機能も用意しました。詳細は、ArF-Program.pdf、ReadMe1st.txt を御覧ください。...
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